气体连续在线分析系统CQC
气体连续在线分析系统,即CQC（Continually Quality Control）,CQC气体连续分析系统是对工业或环境气体成分进行实时、连续监测的分析设备，为安全、环保和工艺优化提供数据支持。
随着电子行业的飞速发展，对大宗气体的纯度要求也越来越高，所以气体纯度的检测显得异常重要，因此一套稳定
可靠的气体连续分析系统是气体供应链上必不可少的一部分。通常系统会连续检测N2、H2、O2、Ar、He、CDA等
主要气体的纯度，通过检测其中的杂质含量来 保证气体的品质。一般杂质为O2、H2O、Partical、THC、CO、CO2等。
CQC会连续实时的测量气体中杂质的含量，并显示和记录相关数据。在检测到 杂质含量异常的时候，能及时发出警报，
并实时记录数据。从而减少客户的损失，并为后续排查提供帮助。
气体连续分析系统的组成
● 低精度的IQC，一般使用于大宗气站出口，纯化器前端， 要求测量
进度在0.01ppm-1ppm。IQC一般由水表、氧表、机柜、记录电脑组成。
● 高精度的CQC，一般在纯化器后端，要求测量进度在1ppb及以下。
CQC一般由水表、氧表、颗粒仪和气象色谱、机柜、记录电脑组成。
● 设备选型经济型，为客户节省成本，带来价值
● 设备选型合规性，适用于不同国家、地区的合规性要求
● 针对超高压，超低温样品气的特殊设计和措施
● 管线设计合理性，减少机柜中管线死区，便于管线吹扫
● 切换型设计，实现一套分析系统分析多种样品气
● 分析系统和气体纯化器，气体液体储罐的联动作业
| 应用领域 | 关键检测参数 | 典型配置设备 | 核心价值 | |||||
半导体大宗气供应 | 水分、氧分、颗粒物、碳氢化合物（ppb级） | 水分仪（SERVOMEX DF750）、氧分析仪（DF550）、颗粒分析仪（PMS）、气相色谱仪（PEAK RCP&FID） | 保障光刻/离子注入工艺气体纯度，提升芯片良率 | |||||
气体厂纯化后检测 | CO、CO₂、H₂S等微量杂质 | 气相色谱仪（脉冲氦离子化检测器PDD） | 验证纯化器性能，避免下游污染 | |||||
| 痕量 | 气种 | LDL | 单位 | 检测范围 | ||
| 氧分仪 (Servomex DF-550E) | N₂ | 45 | ppt | 0-1 ppb/0-20 ppm | ||
| Ar | 45 | ppt | 0-1 ppb/0-20 ppm | |||
| H₂ | 45 | ppt | 0-1 ppb/0-20 ppm | |||
| He | 45 | ppt | 0-1 ppb/0-20 ppm | |||
| 水分仪 (CRDS类型) | N₂ | 100 | ppt | 0-20ppm | ||
| Ar | 45 | ppt | 0-9ppm | |||
| H₂ | 70 | ppt | 0-16ppm | |||
| O2 | 50 | ppt | 0-4ppm | |||
| He | 20 | ppt | 0-10ppm | |||
| 色谱仪 （Orthodyne-HDID） | N₂ | ＜0.5 | ppb | 0-10ppb | ||
| Ar | ＜0.5 | ppb | 0-10ppb | |||
| H₂ | ＜0.5 | ppb | 0-10ppb | |||
| O2 | ＜0.5 | ppb | 0-10ppb | |||
| He | ＜0.5 | ppb | 0-10ppb | |||
| CO2 | ＜0.5 | ppb | 0-10ppb | |||
| 颗粒仪 （PMS） | N₂ | 0.1 | μm | 0.1μm＜粒径＜5.0μm：0-1000个/m³ | ||
| Ar | 0.1 | μm | 0.1μm＜粒径＜5.0μm：0-1000个/m³ | |||
| H₂ | 0.1 | μm | 0.1μm＜粒径＜5.0μm：0-1000个/m³ | |||
| O2 | 0.1 | μm | 0.1μm＜粒径＜5.0μm：0-1000个/m³ | |||
| He | 0.1 | μm | 0.1μm＜粒径＜5.0μm：0-1000个/m³ | |||
| CO2 | 0.1 | μm | 0.1μm＜粒径＜5.0μm：0-1000个/m³ | |||