| 参数类别 | 高纯管道系统 | 特种阀门组件 | 气体净化设备 | 监测与控制系统 |
| 材质与洁净度 | 管道：316L不锈钢（EP级） | 阀体：316L（EP级） | 过滤器滤芯：硼硅酸盐纤维（ULPA级） | 传感器材质：哈氏合金C276/PTFE |
| 内壁光洁度：Ra≤0.2μm（电解抛光） | 密封件：PTFE（食品级） | 净化材料：活性氧化铝/金属催化剂 | 外壳防护：IP65（现场仪表） |
| 粒子污染：≤10个/ft³（≥0.1μm） | 内部容积：≤0.5mL（微型阀） | 外壳材质：316L不锈钢 | 采样管路：316L（BA级） |
| 压力与温度范围 | • 工作压力：真空~15MPa（取决于管径） | 工作压力：真空~6000psi（高压阀） | 工作压力：0~10MPa | 压力测量范围：0~10MPa（表压） |
| • 工作温度：-200℃~+200℃（液氮/蒸汽伴热） | 工作温度：-196℃~+200℃ | 工作温度：-40℃~+80℃ | 温度补偿范围：-20℃~+60℃ |
| • 爆破压力：4×设计压力 | 泄漏率：≤1×10⁻¹⁰ atm·cc/s（He） | 压降：≤0.1bar（额定流量下） | 流量测量精度：±0.5%读数（质量流量计） |
| 性能与可靠性 | 焊接合格率：≥99.9%（X光检测） | 阀门循环寿命：≥10万次（气动隔膜阀） | 过滤器寿命：6~12个月（视气体洁净度） | 分析仪漂移：≤1%FS/年 |
| 系统保压时间：≥24h（压降≤0.5%） | 减压器稳定性：≤0.1%/h（进口压力波动10%时） | 净化模块容量：≥500Nm³（H₂O≤1ppb时） | 数据记录容量：≥1年（1分钟间隔） |
| 使用寿命：≥15年（正常工况） | 抗震等级：IEC 60068-2-6（10g加速度） | 再生周期：3~6个月（视使用工况） | 平均无故障时间（MTBF）：≥50000小时 |
| 认证与标准 | 符合标准：SEMI F20、ASTM A270 | 认证：ATEX、FM（防爆型） | 过滤效率认证：EN 1822-5（ULPA 15） | 仪表精度认证：ISO 9001 |
| 洁净度认证：ISO 14644-1 Class 1 | 密封标准：ISO 10297 | 净化性能：SEMI C3.32 | 通讯协议：MODBUS RTU/Profinet |
| 焊接标准：ASME B31.3 | 材料认证：FDA 21 CFR 177.1550 | 安全认证：CE、UL | 安全等级：SIL 2（联锁控制） |
