气体监视系统配线工程
高纯气体管路工程的气体设备与仪表配线需满足材质兼容、密封防漏、信号精准三大要求，核心是保障气体纯度与系统安全。
| 产品类别 | 核心模块 | 核心功能 | 技术亮点 | 典型适配场景 |
| 气体检测仪表配件 | 传感器探头组件 | 直接接触气体介质，将浓度信号转换为电信号输出 | 检测原理：催化燃烧/电化学/红外（可选） | 大气环境监测、密闭空间气体采样 |
| 响应时间≤30s（T90） | ||||
| 寿命：2-5年（视传感器类型） | ||||
| 信号处理变送器 | 对传感器信号线性化处理，输出标准工业信号 | 输出信号：4-20mA/RS485 | 在线分析系统、气体报警控制器前端 | |
| 精度等级：0.5级 | ||||
| 支持零点/量程自校准 | ||||
| 控制阀门配件 | 气动/电动执行器 | 接收控制信号驱动阀门启闭，实现气体流量/压力调节 | 动作时间：0.5-5s（可调） | 气体输送管道、反应釜进料控制 |
| 调节精度±1%FS | ||||
| 防护等级IP67 | ||||
| 阀门定位器 | 精确控制执行器行程，提高阀门调节精度 | 输入信号：4-20mA/现场总线 | 高精度气体配比系统、特气输送管路 | |
| 回差≤0.5% | ||||
| 支持HART协议通信 | ||||
| 配线工程系统 | 信号传输配线单元 | 实现气体探测器、传感器与监控主机间的信号双向传输 | 双绞屏蔽线缆（抗干扰≥80dB） | 半导体高纯气管道、实验室气体分配系统 |
| 传输距离最长1000m（4-20mA） | ||||
| 总线型/星型拓扑 | ||||
| 安全联锁控制模块 | 联动阀门/排风设备，实现气体泄漏紧急切断与报警输出 | 继电器触点AC250V/10A | 化工反应釜区、LNG储罐站、电子特气柜 | |
| 联锁响应≤50ms | ||||
| 手动/自动双模式切换 | ||||
| 防爆配线组件 | 满足爆炸性气体环境下的配线安全需求 | 防爆等级Ex d IIB T6/Ex ia IIC T4 | 石油化工车间、燃气锅炉房、喷涂作业区 | |
| 隔爆型接线盒+IP68线缆 |
| 设备/配线类型 | 核心参数 | 技术指标 | 应用场景 |
| 气源减压装置 | 材质/泄漏率/减压精度 | 316L BA级阀体，泄漏率≤2×10⁻⁸ atm，二级减压后压力波动±0.5% | 氮气/氩气等惰性气体终端减压 |
| 特气柜（GC） | 报警压力/材质/控制方式 | 压力报警阈值0.1–0.3MPa，内管SS316L-EP，PLC自动切换气瓶 | SiH₄/PH₃等剧毒气体存储与输送 |
| 气体分配柜（VMB） | 接口数量/气体兼容性/流量范围 | 8–12路接口，兼容腐蚀性气体，最大流量500L/min | 光刻/沉积工艺气体分配 |
| 焊接式配线 | 材质/绝缘等级/耐温范围 | 316L不锈钢护套，FEP绝缘层，耐温-60℃~200℃，屏蔽层接地电阻＜1Ω | 阀门位置反馈信号传输 |
| 卡套式配线 | 连接方式/耐压等级/泄漏率 | VCR双卡套接头，耐压3000PSI，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s | 分析仪表取样管线连接 |
| 气体检测传感器 | 检测精度/响应时间/信号输出 | 氧传感器精度±1%FS，响应时间＜10秒，4–20mA模拟信号输出 | 总管泄漏监测与安全联锁 |
| 设备/配线类型 | 核心参数 | 技术指标 | 应用场景 |
| 气源减压装置 | 材质/泄漏率/减压精度 | 316L BA级阀体，泄漏率≤2×10⁻⁸ atm，二级减压后压力波动±0.5% | 氮气/氩气等惰性气体终端减压 |
| 特气柜（GC） | 报警压力/材质/控制方式 | 压力报警阈值0.1–0.3MPa，内管SS316L-EP，PLC自动切换气瓶 | SiH₄/PH₃等剧毒气体存储与输送 |
| 气体分配柜（VMB） | 接口数量/气体兼容性/流量范围 | 8–12路接口，兼容腐蚀性气体，最大流量500L/min | 光刻/沉积工艺气体分配 |
| 焊接式配线 | 材质/绝缘等级/耐温范围 | 316L不锈钢护套，FEP绝缘层，耐温-60℃~200℃，屏蔽层接地电阻＜1Ω | 阀门位置反馈信号传输 |
| 卡套式配线 | 连接方式/耐压等级/泄漏率 | VCR双卡套接头，耐压3000PSI，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s | 分析仪表取样管线连接 |
| 气体检测传感器 | 检测精度/响应时间/信号输出 | 氧传感器精度±1%FS，响应时间＜10秒，4–20mA模拟信号输出 | 总管泄漏监测与安全联锁 |